Prinsip kerja mesin salutan vakum

Mesin salutan vakum ialah peranti yang memendapkan filem nipis logam ke permukaan substrat. Prinsip kerja asasnya dibahagikan kepada tiga langkah: pembersihan, penyejatan, dan pemendapan.
1. Pembersihan
Sebelum pemendapan penyejatan, kebuk penyejatan mesti dibersihkan. Kerana mungkin terdapat oksida, gris, habuk dan bahan lain yang melekat pada permukaan ruang penyejatan, ini akan menjejaskan kualiti filem. Pembersihan biasanya menggunakan kaedah kimia atau fizikal.
2. penyejatan
Bahan yang dikehendaki dipanaskan di atas takat leburnya supaya ia membentuk molekul gas. Molekul-molekul gas kemudiannya terlepas di dalam ruang vakum ke dalam ruang penyejatan. Proses ini dipanggil penyejatan. Suhu, tekanan dan kadar sejatan mempengaruhi komposisi, struktur dan sifat filem.
3. Pemendapan
Molekul gas bahan dalam ruang penyejatan memasuki ruang tindak balas melalui paip vakum, bertindak balas dengan bahan aktif, dan kemudian mendepositkan produk ke permukaan substrat. Proses ini dipanggil pemendapan. Suhu, tekanan dan kadar pemendapan juga mempengaruhi kualiti dan prestasi filem.
2. Permohonan
Mesin salutan vakum digunakan secara meluas dalam sains bahan, optik, elektronik dan bidang lain.
1. Sains Bahan
Mesin salutan vakum boleh menyediakan filem nipis pelbagai logam, aloi, oksida, silikat dan bahan lain, dan digunakan secara meluas dalam salutan, filem optik, penyimpanan optik, paparan, transistor dan bidang lain.
2. Optik
Mesin salutan vakum boleh menyediakan filem logam dan aloi dengan pemantulan tinggi dan filem optik dengan fungsi khas. Filem ini boleh digunakan dalam panel solar, mikroskop elektron berprestasi tinggi, aerogel, penderia UV/IR, penapis optik dan medan lain.
3. Elektronik
Mesin salutan vakum boleh menyediakan bahan elektronik skala nano dan peranti mikroelektronik. Filem ini boleh digunakan dalam nanotransistor, ingatan magnetik, penderia dan medan lain.
Pendek kata, mesin salutan vakum bukan sahaja boleh menyediakan pelbagai bahan filem nipis, tetapi juga menyediakan filem nipis dengan fungsi khas seperti yang diperlukan. Pada masa hadapan, teknologi salutan vakum akan digunakan dengan lebih meluas dan dipromosikan.